2007-10-19 空 (idling) がりがりエッチングをする前の試料測定をした。単に段差とか膜の粗さとか測るだけです。 50秒間、針が膜の上を這っている間暇です。そんなの30回もやったらすごく暇です。あ〜、ひまい(謎)。 クリーンルームなので本とか論文とか持ち込めないんですよねー。